高純電子特氣管道系統的含義

半導體,集成電路,生物制約行業輸送超純介質(氣體)的高純氣體管路是一種綜合考慮組織穩定性,耐蝕性,加工性的不銹鋼管。要確保系統中立,我們要強調表面粗糙度Ra 值和自身的潔凈,使顆粒發生和堆積滯留得到抑止。為了確保可熔接性及熔接質量,要求保證尺寸公差,母材的化學成分。這樣才能確保在熔接時降低煙氣的發生,顆粒的產生及提高熔接部位的耐蝕性和平滑性。

總而言之, 高純管路既要有漂亮的外表 (外在的純凈), 又要有貨真價實的材質 (內在的純凈)。 

    1、外在的純凈,有別于傳統不銹鋼管道內外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感覺,現在的超純氣體管道不僅有锃亮的外表,同時也有較好的內表面粗糙度, 以確保管道系統對傳輸的介質保持中立以及確保吹掃及清洗性能, 現在工程師及技術人員常常提及的表面粗糙度Ra 值就是對管道系統內表面粗糙度的基本要求。為了確保自動軌道焊的質量和效率,尺寸公差當然也是基本的要求。

2、內在的純凈指純凈的材質:氣體管道僅有漂亮的內外表面是遠遠不夠的,對管道系統的材質也有非常苛刻嚴格的要求,無論對化學成分和機械性能都有一定的定義。所以我們提到的純凈管道是由純凈的316L制成,指不銹鋼中的不純物盡量降到一定范圍內,非金屬夾雜物以及氣體成分控制在低端，而高純潔凈管的級別可分為BA和EP級，高純電子特氣管道系統用的一般是316LEP級的不銹鋼管，就是電解拋光不銹鋼管。

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